Φ130超高流量系列滤芯直径为130mm，适用于高世代液晶面板生产制造工艺，主要应用在高流量要求的工艺点，单支滤芯能够达到超过300L/min的流量要求，超大过滤面积可以达到≥2m2，不仅具备高流量的性能，也提供了高纳污量，能够减少设备在使用过程中因更换滤芯而造成的设备停机次数。